潔凈機器人_沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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新松潔凈自動化系列產品經過10多年的技術沉淀已形成系列化單體產品，同時注重模塊化單元及設備平臺建設，以成套化和規?；癁榘l展目標，擁有100余人的專業研發團隊，在沈陽擁有5000平米的凈化間，目前主要應用領域覆蓋IC裝備、平板顯示、光伏、電子等行業，能夠為客戶提供完整的技術解決方案和交鑰匙工程。完全擁有自主知識產權和核心技術，技術水平國內領先達到國際先進水平。

: TSS-3000 EFEM

一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風扇過濾系統，可拆分的設備結構，從而保證設備潔凈、可靠的運行。
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: 真空機械手 Archer 系列

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。
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: 真空傳輸平臺Diagram 600

作為半導體制造生產線的必要設備，本平臺一般包含在整套半導體制造設備系統之中，是硅片盒（Cassette）到工藝腔（CVD，ALD，PVD等）之間的硅片搬送系統。

: 真空機械手PHOENIX B系列

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

: 真空機械手PHOENIX-S25系列

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

: 真空機械手PHOENIX PLUS B系列

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

: Titan1500C

具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能，可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性使用要求。

: SRBZ970C

具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能，可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性使用要求。

: SRBZ820C

具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能，可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性使用要求。

: SRBZ820C-G

具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能，可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性、高溫工況使用要求。

: 真空機械手 SM11

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

: TSS-4000 EFEM

一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風扇過濾系統，可拆分的設備結構，從而保證設備潔凈、可靠的運行。

: TSS-2000 EFEM

SEMI認證S2、F47
接口可用戶定制

: LoadPort

LoadPort是新松公司自主研發的一種晶圓裝載裝置，可安裝在EFFM上，適用于8寸和12寸晶圓盒的裝載，具備準確的mapping功能，可自動識別盒內晶圓各槽狀態，如單片、跨片、異常片，通過獨創的開關門機構和精確的運動控制，實現了高清潔性能，同時具有良好的穩定性和速度。

: SMIF

SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動開關盒，效率高，穩定性好，重復定位精度高，潔凈等級為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動檢測盒內各槽晶圓狀態，例如單片、跨片；具有開盒時自動識別盒內晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護功能，可以自動監測盒內異常狀況，有效保護晶圓；具有實時檢測的機械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國大陸自主設計制造，推動了國內半導體產業鏈的進步，有效的支撐了國內半導體設備的發展。

: 立式爐Mini STK

立式爐Mini STK應用于立式爐管設備前端，適用于FOUP的轉運、暫存和開盒。

: 大氣機械手Blade-SD210

高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。

: 大氣機械手Blade-S225

高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制

: 大氣機械手Blade-S175-EX

高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制

: 大氣機械手Blade-DD250

高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護， SEMI認證，提供接口及末端定制

: 大氣機械手Blade-D156

高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護， Mapping，SEMI認證S2，F47

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