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            真空機械手PHOENIX-S25系列

            直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等

            advantages

            產品優勢
            • 安全穩定可靠
              具有性能安全穩定可靠,運行平穩性好等特點
            • 多種優勢
              具有高剛性、高速度、高精度等優勢
            • 作業空間利用率高
              適用于潔凈領域,輕量級設計使其與產線融于一體,作業空間利用率高
            • 技術優越
              其控制技術優越,動作靈活輕巧快捷,操作持久耐用
            • 多種優良特性
              滿足各類柔性化集成和生產等優良特性于一體

            Application areas

            產品應用領域

            parameter

            產品參數
            • 晶圓尺寸

              φ200mm

            • 負載重量

              ≤0.5Kg

            • R軸重復定位精度

              ±0.05mm

            • θ軸重復定位精度

              ±0.006°

            • Z軸重復定位精度

              ±0.05mm

            • R軸行程

              ≤703mm

            • T軸行程

              360°

            • Z軸行程

              35mm

            • 真空度

              <1×10-7 Torr

            • 漏率

              <1×10-9 std.cc/sec He

            • 整機重量

              50kg

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